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三坐标测量仪是指能够在一个六面体空间内表示几何形状、长度和周向分度的测量能力的仪器，也称为三坐标测量机或三坐标测量床。

三坐标测量仪也可以定义为“带有探测器的仪器，该探测器可以在三个方向上移动，并且可以在三个相互垂直的导轨上移动。探测器以接触或非接触方式传输信号，三轴位移测量系统(如光栅尺)通过数据处理器或计算机计算工件的各点(x，y，z)并测量各种功能”。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度和轮廓精度。